한국나노기술원-마이크로나노시스템학회 산업체협의회, 24일 협약 체결

21개 MEMS 업체와 8인치 기반 시제품 양산설비 공동 활용

기업 맞춤형 양산 공정 플랫폼 구축에 기여

 경기도와 한국나노기술원은 8인치 기반의 MEMS 장비의 구축을 적극 추진 중이며 이를 통해 반도체 관련 도내 중소기업에 시생산 등의 서비스를 제공할 예정이다. 이의 일환으로 한국나노기술원(원장 김희중)은 24일 사단법인 마이크로나노시스템학회 산업체협의회(회장 부종욱)와 업무 협약을 체결하고, 8인치 기반의 MEMS 시제품 양산설비 활용에 힘을 합치기로 했다.

 MEMS는 미세전자기계시스템(Micro Electro Mechanical System)의 약자이다. MEMS는 반도체 제조기술을 이용해 3차원 구조물을 형성하는 기술로 초소형 저전력 센서를 가능케 해 모든 사물이 센서로 감지하고 통신하는 사물인터넷의 핵심 기술이다.

 이번 업무 협력을 통해 한국나노기술원과 마이크로나노시스템학회 산업체협의회 소속 21개 업체는 8인치 기반의 MEMS 시제품 양산설비를 함께 구축하고 운영할 예정이다. 아울러 기업체별로 원하는 맞춤형 센서를 위탁 생산할 수 있는 연구시설도 함께 운영한다.

 기술원은 이를 위해 8인치 기반의 MEMS 시제품 양산설비를 추가로 구축해 나갈 예정이다. 협의회는 향후 관련 설비 활용 시 우선사용권을 부여 받게 된다. 기술원은 이번 협약이 경기도에서 집중 육성하고 있는 사물인터넷 관련 센서를 만들 수 있는 8인치 공정시설을 구축해 도내 사물인터넷 관련 산업 발전에도 기여할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

 한국나노기술원 김희중 원장은 “이번 협약은 중소기업 니즈(needs)와 기술원의 필수 요소를 매칭한 상호 윈-윈 전략.”이라고 설명하고 “기술원과 협의체는 상호 유기적인 협력개발 체제를 통해 사물인터넷 등 미래산업 육성을 위한 기반 조성에 노력하겠다.”고 밝혔다.